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    各類型壓力傳感器的工作原理介紹

    2021-05-20瀏覽次數:118
    壓力傳感器采用的傳感原理會影響精度、可靠性、測量范圍以及與目標環境的兼容性。那么,各類型壓力傳感器的工作原理是什么呢?下面我們就來介紹。
    壓力傳感器

    各類型壓力傳感器的工作原理介紹


    1、電阻式

    電阻式壓力傳感器利用應變片的電阻變化,應變片暴露在壓力介質中。應變計通常由粘接在膜片上的柔性襯底上的金屬電阻元件組成,或通過薄膜工藝直接沉積的柔性背襯上。金屬膜片具有很高的過壓和爆壓能力。

    壓阻傳感器利用半導體材料電阻率的變化,當受到應變時,膜片產生變化,這種變化的幅度可以是金屬應變片中電阻變化的100倍。因此,壓阻傳感器可以測量的壓力變化比金屬傳感器小。

    2、電容式

    電容式傳感器,一塊板在施加的壓力下發生撓度時會顯示電容變化。這種壓力傳感器具有很高的靈敏度,可以測量10 mbar以下的壓力,并能承受較大的過載。但是,對材料的限制以及對連接和密封的要求會限制應用。

    3、壓電式

    壓電壓力傳感器利用壓電材料(如石英)的特性,在施加壓力時在表面產生電荷。電荷大小與施加的力成正比,極性表示其方向。電荷隨壓力變化而迅速累積和消散,從而可以測量快速變化的動態壓力。

    4、光學

    光學傳感器采用干涉測量法來測量光纖中壓力引起的變化,不受電磁的干擾,從而可以在嘈雜的環境中或在諸如放射線照相設備之類的輻射源附近使用。它們可以使用微小的組件或MEMS技術來制造,可以用于醫學上安全的植入或局部使用,并且可以測量沿纖維的多個點的壓力。

    5、MEMS技術

    MEMS稱作微機電系統,這種傳感器包含在硅上以微米級分辨率制造的壓電或電容式壓力傳感機制。共同封裝的信號調理電子設備將小幅度的MEMS電輸出轉換為模擬或數字信號。它們是微小的表面貼裝設備,通常每邊僅約2-3毫米。
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